半导体探针测试系统

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半导体探针测试系统

详细信息与技术指标

功能应用范围：拥有超强的校准技术及负载电感补偿技术，结合独有的MicroChamber和AttoGuard专利技术，使DC/CV测试精度可达1fA/1fF，RF测试可在10 M~40 GHz的范围提供高精度测试结果

主要技术指标：高频测试探头GSG ，频率达50GHZ，对6寸、8寸及12寸等晶圆进行半自动测试。

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